兆声波清洗器和超声波清洗器的区别
对比项 兆声波（Megasonic） 超声波（Ultrasonic）
频率 0.8–3MHz（常用 1MHz） 20–400kHz
清洗机制 声流效应 + 声压梯度，无强空化 空化气泡爆破为主
功率密度 1–10 W/cm²（温和） 50–200 W/cm²（强冲击）
最小可去颗粒 45nm–0.1μm ≥1μm
损伤风险 极低（适合精细结构） 较高（易损伤薄 / 脆件）
典型应用 晶圆、MEMS、光学镜片、精密电子 五金、汽配、实验室常规清洗
兆声波清洗器和超声波清洗器的区别
对比项 兆声波（Megasonic） 超声波（Ultrasonic）
频率 0.8–3MHz（常用 1MHz） 20–400kHz
清洗机制 声流效应 + 声压梯度，无强空化 空化气泡爆破为主
功率密度 1–10 W/cm²（温和） 50–200 W/cm²（强冲击）
最小可去颗粒 45nm–0.1μm ≥1μm
损伤风险 极低（适合精细结构） 较高（易损伤薄 / 脆件）
典型应用 晶圆、MEMS、光学镜片、精密电子 五金、汽配、实验室常规清洗
